潔凈室涂布機使用操作方法

1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。

2. 將涂布機的插頭插入110V的電源插座，然后按下【POWER】鍵。

3. 設定旋轉的轉速及時間，本機型為二段式加速的Spin Coating，右邊為第一段加速，左邊為第二段加速。

4. 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉轉盤做涂布的動作。

5. 按下【PUMP】鍵，此時旋轉轉盤會吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當的量，在做光阻涂開動作時可先用氮氣將旋轉轉盤周圍及基材吹乾凈。

6. 蓋上涂布機的保護蓋，以防止光阻濺出涂布機外。

7. 按下【START】鍵，涂布機便開始做涂布的動作。

8. 涂布完畢后，打開保護蓋，按下【PUMP】鍵旋轉轉盤會放開基材，便可以將基材取出。

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