無塵車間使用化學藥品使用須知

1. 化學藥品的進出須登記，并知會管理人，并附上物質安全資料表（MSDS）於實驗室門口。

2. 使用化學藥品前，請詳讀物質安全資料表(MSDS)，并告知管理人。

3. 換酸前必先穿著防酸塑膠裙，戴上防酸長袖手套，頭戴護鏡，腳著塑膠防酸鞋，始可進行換酸工作。

4. 不得任意打開酸瓶的蓋子，使用后立即鎖緊蓋子。

5. 稀釋酸液時，千萬記得加酸於水，絕不可加水於酸。

6. 勿嚐任何化學藥品或以嗅覺來確定容器內之藥品。

7. 不明容器內為何種藥品時，切勿搖動或倒置該容器。

8. 所有化學藥品之作業均須在通風良好或排氣之處為之。

9. 操作各項酸液時須詳讀各操作規范。

10. 酸類可與鹼類共同存於有抽風設備的儲柜，但絕不可與有機溶劑存放在一起。

11. 廢酸請放入廢酸桶，不可任意傾倒，更不可與有機溶液混合。

12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內，不可任意傾倒或倒入廢酸桶內。

13. 勿任意更換容器內溶液。

14. 欲自行攜入之溶液請事先告知經許可后方可攜入，如果欲自行攜入之溶液具有危險性時，必須經評估后方可攜入，并請於容器上清楚標明容器內容物及保存期限。

15. 廢液處理：廢液分酸、鹼、氫氟酸、有機、等，分開處理并登記，回收桶標示清楚，廢液桶內含氫氟酸等酸鹼，絕對不可用手觸碰。

16. 漏水或漏酸處理：漏水或漏酸時，為確保安全，絕對不可用手觸碰，先將電源總開關與相關閥門關閉，再以無塵布或酸鹼吸附器處理之，并報備管理人。

化學工作站（大概指腐蝕槽）操作

1.    操作時須依規定，戴上橡皮手套及口罩。

2.    不可將塑膠盒放入酸槽或清洗槽中。

3.    添加任何溶液前，務必事先確認容器內溶劑方可添加。

4.    在化學工作站工作時應養成良好工作姿勢，上身應避免前傾至化學槽及清洗槽之上方，一方面可防止危險發生，另一方面亦減少污染機會。

5.    化學站不操作時，有蓋者應隨時將蓋蓋妥，清洗水槽之水開關關上。

6.    化學藥品濺到衣服、皮膚、臉部、眼睛時，應即用水沖洗濺傷部位15分鐘以     上，且必須皮膚顏色恢復正常為止，并立刻安排急救處理。

7.    化學品外洩時應迅速反應，并做適當處理，若有需要撤離時應依指示撤離。

8.    各化學工作站上使用之橡皮手套，避免觸碰各機臺及工作臺，及其它器具等物，一般操作請戴無塵手套。

RCA Method

1.    DI Water                   5min

2.    H2SO4:H2O2=3:1             煮10~20min 75~85℃，去金屬、有機、油

3.    DI Water                   5min

4.    HF:H2O                    10~30sec，去自然氧化層(Native Oxide)（如接  

著要氧化的話，則該步驟不需要）

5.    DI Water                   5min

6.    NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5      煮10~20min 75~85℃，去金屬有機

7.    DI Water                   5min

8.    HCl:H2O2:H2O=1:1:6         煮10~20min  75~85 ℃  去離子

9.    DI Water                   5min

10.  Spin Dry

清洗注意事項

1. 有水則先倒水﹐H2O2最后倒﹐數字比為體積比。

2. 有機與酸鹼絕對不可混合﹐操作平臺也務必分開使用。

3. 酸鹼溶液等冷卻后倒入回收槽﹐并以DI Water沖玻璃杯5 min。

4. 酸鹼空瓶以水清洗后﹐并依塑膠瓶﹐玻璃瓶分開置於室外回收筒。

5. 氫氟酸會腐蝕骨頭﹐若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹，再用清水沖洗乾凈，并就醫。碰到其他酸鹼則立即以DI Water大量沖洗。

6. 清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。

7. 簡易清洗步驟為1-2-9-10；清洗SiO2步驟為1-2-10；清洗Al以HCl:H2O=1:1。

8. 去除正光阻步驟為1-2-10，或浸入ACE（？？？）中以超音波振盪。

 9. 每個玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液﹐蝕刻、清洗、電鍍、有機絕不能混合。

10. 廢液回收分酸、鹼、氫氟酸、電鍍、有機五種，分開回收并記錄，傾倒前先檢查廢棄物相容性表，確定無誤再傾倒。

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