微電子半導體無塵室管理規范-進入無塵室須知

一、無塵室須知

1. 進入無塵室前，必須知會管理人，并通過基本訓練。

2. 進入無塵室嚴禁吸煙，吃(飲)食，外來雜物(如報章，雜誌，鉛筆...等)不可攜入，并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。

3. 進入無塵室前，需在規定之處所脫鞋，將鞋置於鞋柜內，外衣置於衣柜內，私人物品置於私人柜內，柜內不可放置食物。

4. 進入無塵室須先在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊，再經風淋室洗塵，并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。

5. 戴口罩時，應將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時污染晶片。

6. 穿著無塵衣，無塵帽前應先整理服裝以及頭髮，以免著上無塵衣后，不得整理又感不適。

7. 整肅儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則系:

(1)頭髮必須完全覆蓋在帽內，不得外露。

(2)無塵帽之下擺要平散於兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。

8. 無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態，無塵衣不可反穿。

9. 穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實蓋在褲管之上。

10. 戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應將手套之手腕置於衣袖內，以隔絕污染源。

11. 無塵衣著妥后，經洗塵，并踩踏除塵毯，方得進入無塵室。

12. 不論進入或離開無塵室，須按規定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區域為之，尤不可在無塵室內邊走邊脫。

13. 無塵衣，鞋套等，應定期清洗，有破損，脫線時，應即換新。

14. 脫下無塵衣時，其順序與穿著時相反。

15. 脫下之無塵衣應吊好，并放於更衣室內上層柜子中;鞋套應放置於吊好的無塵衣下方。

16. 更衣室內小柜中，除了放置無塵衣等規定物品外，不得放置其他物品。

17. 除規定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無塵室。

18. 無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置於規定處所。

19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重覆使用。

20. 任何東西進入無塵室，必須用灑精擦拭乾凈。

21. 任何設備的進入，請知會管理人，在無塵室外擦拭乾凈，方可進入。

22. 未通過考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當處理，例如關閉水、電、氣體等開關。

23. 無塵室內絕對不可動火，以免發生意外。

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