半導體無塵室系統使用操作方法

1.首先打開控制器面板上的【電熱運轉】、【加壓風車運轉】、【浴塵室（風淋室）運轉】、【排氣風車（排氣扇）運轉】等開關。

注意:

＊ 溫度控制器及濕度控制器可由黃色鈕調整，一般溫度控制為20℃ DB ，濕度控制為50% RH。

＊ 左側的控制器面板上電壓切換開關為【RU】，電流切換開關為【T】。右側的控制器面板上電壓切換開關為【RS】，電流切換開關為【OFF】。

2.將箱型空氣調節機的送風關關打開，等送風穩定后再將冷氣暖氣開關打開，此時紅色燈會亮起，表示正常運作。

注意:

＊ 冷氣的起動順序為壓縮機【NO.2】。

＊ 溫度調節為指針指向紅色暖氣【5】。

＊ 分流開關AIR VALVE 為【ON】。

3.無塵室使用完畢后，要先將箱型空氣調節機關閉，按【停止】鍵即可。

4.再將控制器面板上的【電熱運轉】、【加壓風車運轉】、【浴塵室運轉】、【排氣風車運轉】等開關依序關閉。

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