1、主要存在于液體中的微氣泡（空化核）在聲場的作用下振動，當聲壓達到一定值時，氣泡將迅速變大，然后溘然閉合，在氣泡閉合時產生的沖擊水波能在其附近產生上千個大氣壓的壓力，破壞不溶解性污物而使它們分解在清洗液中。
    2、蒸汽型空化對污物層的直接反復沖擊，一方面破換污物與清洗件表面的吸附，另一方面也會引起污物層的疲憊破壞而清洗件表面脫離。
    3、氣體型氣泡的振動對固體表面進行擦洗，污物一旦有縫可鉆，氣泡就可以“鉆入”裂痕中振動，使污層脫落。例如工件上的氧化層就可以比較等閑被氣泡剝離。如圖3-2所示。
    4、 對于有油污包裹住的固體粒子，因為超聲空化的作用。兩種液體在界面迅速分散而乳化，固體粒子即行脫落。
    5、空化氣泡本身在振蕩過程中，將伴跟著一系列二階段現象發生，如輻射扭力。輻射扭力在平均液體中作用于液體本身，從而導致液體本身的環境，即稱之為聲流。這個聲流可以作用于量級較大的范圍，也可限于μm量級較小的范內，后者場稱為微聲流，它可以使振動氣泡表面處在很高的速度梯度和粘滯應力，這種應力有時高達100Pa以上，足以使工件表面污物造成破壞而使其脫落。
   6、 超聲空化在固體和液體界面上所產生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層，增加攪拌作用，加快可溶性污物的溶解，強化化學清洗劑的清洗作用。