什么是潔凈隧道

以兩條層流工藝區和中間的亂流操作活動區組成隧道形潔凈環境的凈化處理方式叫潔凈隧道.這是全室凈化與局部凈化相結合的典型,是目前推廣采用的凈化方式,也被稱之為第三代凈化方式.

按照組成潔凈隧道的設備不同,潔凈隧道可分為以下幾種形式.

(1)臺式潔凈隧道

這種形式的潔凈隧道是將潔凈工作臺相互連接在一起,并取消中間的側壁,組成生產需要的隧道型生產線.當工藝要求垂直層流時,可選用垂直層流工作臺.當工藝要求水平層流時,則選用水平層流工作臺.這種凈化方式較全室凈化更易保證局部空間的高潔凈度,并由于工作臺相互連接,可以減少或防止交叉污染.此外,對建筑的要求比較簡單,只要求具備亂流潔凈室的環境即可.其缺點是潔凈工作臺的尺寸固定,使操作面缺乏足夠的靈活性,工藝設備必須適應工作臺的尺寸,調整起來也不大方便.

(2)棚式潔凈隧道 (見圖)

這種形式的潔凈隧道是將潔凈棚,即棚式垂直層流單元串聯在一條生產線上所組成的.根據工藝要求,潔凈棚的面積可以變化,空氣可以全部為室內循環式,也可連通集中式凈化空調系,潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。 　　 

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
局部潔凈工程
　　
4潔凈工作臺：等級Class 1~100級。 　　
  潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

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