高效空氣過濾器一般稱為HEPA FILTER 和ULPA FILTER也可稱為絕對過濾器 Absolute Air Filter，此類過濾器通常用于終端之位置，其過濾對象為低濃度之微細粒子,且具有級高之捕集效率是維持無塵室內潔凈度最重要的過濾器，其捕集塵埃之原理如下:
濾過原理(Filtration)
擴散捕捉原理(Diffusion)
沖突原理(Impact)或稱慣性原理(Inertia)
濾過原理(Filtration)

塵埃粒子通過濾材時，其大于濾材線維與線維之間距的例子被阻擋，也就是塵埃粒徑大于間距就會有過濾效果。 如下圖所示：
 
擴散捕捉原理(Diffusion)
粒徑之微塵，由于布朗運動、重力、離子化等原因，在線維表面磨察通過，此時發生靜電，塵埃即會附著于線維上達到捕集作用，其通過濾材風速越低， 粒徑越小，其效果越佳。 如下圖所示：
 
沖突原理(Impact)
空氣在濾材線維間流動時，因粒子之流動慣性力作用，急速沖擊于線維表面而附著，其通過濾材風速越快，效果越佳。如下圖所示：
 
整體捕集效率
沖突原理對于微塵粒徑＞0.1μm以上者其捕集效率最高；擴散捕捉對于微塵粒徑≦0.05μm 以下之粒子具有較高之效率；而濾過原理則在三種捕集原理中，其捕捉之效率較低。

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