M-SR10KE15-1X/傳統的電液伺服閥中最典型也最常用的是雙噴嘴擋板式滑閥力反饋伺服閥，它采用力矩馬達作為電-機械轉換裝置，雙噴嘴擋板閥為液壓放大元件，力反饋桿與彈簧管構成機械反饋。雖然力矩馬達具有固有頻率高、結構緊湊等優點，但為了限制非線性，力矩馬達銜鐵的輸出位移一般都很小，制造精度要求高，力反饋桿與彈簧管構成的機械反饋使得力矩馬達的抗污染性差，價格高。
動圈式力馬達在氣隙中運動時不改變氣隙的長度，具有位移量大的特點，用力馬達直接驅動滑閥，可以增加閥的抗污染能力。早期的動圈式力馬達伺服閥，由于為了充分利用力馬達的線性，閥芯行程大，對中彈簧的剛度一般較小，而動圈與先導閥芯連接在一起，運動部分質量大，致使力馬達的頻率低，響應速度慢。隨著電子技術與傳感器技術的發展，通過提高動圈式力馬達的驅動電流來加大力馬達的輸出力已不再困難，利用先進的位移檢測技術實現閥芯位置的高精度檢測不僅可行而且經濟，因此近年來，數百赫茲以上高頻響大流量伺服閥幾乎都采用動圈式力馬達結構。本文以日本KYB工業株式會社生產的MK伺服閥為例，分析動圈式伺服閥的特點及其檢測問題。
2 MK閥及其放大器的特點
MK電液伺服閥是一種全電反饋、二級驅動、雙位置閉環的電液伺服閥。它具有高頻響、高精度、抗污染性好、性能穩定等特點。與力反饋相比，采用電反饋不僅簡化了伺服閥的結構，而且為用電氣參數來改變閥的特性提供了技術基礎。
伺服閥由先導閥、主閥和減壓閥等組成。先導級主要有：動圈力馬達、滑閥以及電渦流位移傳感器等組成，電氣部分是完全干式，動圈運動時直接推動閥芯移動，閥芯的位移由嵌入式電渦流位移傳感器檢測反饋到放大器的輸入端形成電氣閉環。這種直動加電氣反饋的方式，使得其結構特別簡單，大大提高了可靠性。主閥由先導級驅動，主閥芯與嵌入式差動變壓器位移傳感器的鐵芯相連接，主閥芯的位移由差動變壓器位移傳感器檢測，反饋到放大器的輸入端形成第二級
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