（1）流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。

對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計/質量流量控制器，則一般可以忽略不計。

（2）測量控制的自動化

質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。

（3）精確地定量控制流量

質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

（4）適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產品最小流量范圍可達0～5 sccm，最大流量范圍可達0～200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2～100% （量程比為－－ 50:1）, 因此在很多領域得到廣泛應用。