實現極限壓力為10Pa的清潔真空熱處理，以滿足日益多樣化的研發需求。包括每個零件和管道的外部均由不銹鋼制成，以進一步提高耐腐蝕性。
該結構在設計時考慮了安全性，例如雙重防過熱機制和帶有防護罩的全尺寸觀察窗。

?真空罐：300×300×300
?
達到壓力：10Pa （空載常溫）?溫度可達到：200℃
?溫度控制：程序溫度控制器（PID）
?溫升時間：70分鐘（RT→200℃） （空載）
?功率：AC100V單相1kW
?外形尺寸：700×470×560

?重量：70kg