在SnO2材料內摻雜是改善傳感器性,添加Pt、Pd、Ir等貴金屬不僅能有效地提高元件靈敏度和響應時間,而且,催化劑不同,導致不同吸附傾向,從而改善性。例如在SnO2氣敏材料中摻雜貴金屬Pt、Pd、Au提高對CH4靈敏度,摻雜Ir可降低對CH4靈敏度,摻雜Pt、Au提高對H2靈敏度,摻雜Pd降低對H2靈敏度。
按計算,在SnO2中加入3~5%ThO2,5%Sm2.在600℃H2氣氛中燒結,制成厚膜器件,溫度為400℃。則可作為CO器件。上右是燒結溫度為600℃時氣敏器件特性。可看出,溫度在170~200℃內,對H2靈敏度曲線呈拋物線,而對CO改變溫度則影響不大,因此,利用器件這一特性H2。而燒結溫度為400℃制成器件,溫度為200℃時,對H2、CO靈敏度曲線形狀都近似呈直線,但對CO靈敏度要高得多,制成對CO敏感氣體傳感器。
還有采用絲網印刷工藝制成厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,容易,方便,便于批量生產。
浙公網安備 33010802004442號 浙B2-20080178-158 Copyright 2025 焊材網 All Rights Reserved 技術支持:機電之家 服務熱線:0571-87774297 傳真:0571-87774298