性是氣體傳感器關鍵。如SnO2薄膜對多種氣體都敏感,提高SnO2氣敏器件性和靈敏度重點。措施有:在基體材料中加入不同貴金屬或金屬氧化物催化劑,設置合適溫度,利濾設備或透氣膜外過濾敏感氣體。
還有采用絲網印刷工藝制成厚膜器件和混合膜器件,這類器件具有集成度高,容易,方便,便于批量生產。
同體電解質在高溫下才會有明顯導電性。氧化鋯ZrO2是典型氣體傳感器材料。純正氧化鋯在常溫下是單斜晶,當溫度升到1000℃左右時就會發生同質異晶轉變,由單斜晶變為多晶,并伴隨體積收縮和吸熱反應,因此是。在ZrO2中摻入穩定劑如:堿土氧化鈣CaO或稀土氧化釔Y2O3,使其成為穩定熒石立方晶體,穩定程度與穩定劑濃度有關。
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