集成磁懸浮分子泵MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵可靠性高，抽速大，適合大氣載應用。典型應用- PVD鍍膜系統- 建筑玻璃鍍膜- 光學鍍膜- 液晶顯示器- 平板顯示- 科研- 分析領域技術特點- 任意方向安裝- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF高真空接口- DN 40 KF前級真空接口- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧式）MAG INTEGRA。

技術特點

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 防護等級IP 54

- 兩個工業通信模塊卡接口

- RS 232，維護接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS