ULVAC UTM-3303FHA
采用五軸磁浮軸承和數字控制的復合翼型渦輪分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用數字控制五軸磁浮軸承，實現了***、高可靠性和節能等優點。FH系列是高背壓·高壓縮型，提高了氫壓縮比,用于輕·中間工藝，FW系列是廣域·大流量型，用于高負荷工藝和中間·硬工藝。
特點
具有監控和自診斷功能以及通信功能，可與集中管理系統數字化通信。
配備有無耦合系統。 僅通過一個電源就可以與任何替換泵組合使用。
配備變速系統。排氣速度可以在25％至100％的范圍內切換。
具有***的***表面處理性，可支持選擇特殊表面處理和內部升溫系統，以進行進一步的硬化處理(FW系列)
采用斷裂能量吸收結構，高安全性設計，減少故障時的設備損壞。
符合CE標志
用途
中，重工藝用主泵(FW系列)
輕，中工藝用主泵(FH系列)
各種實驗裝置的高，***真空排氣用主泵