Alcatel阿爾卡特ATH1603M磁懸浮分子泵維修, adixen ATH1603M法國阿爾卡特分子泵進氣法蘭口DN200ISO-K/DN200CF，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達到1360L/s，極限壓力1X.10-8 mbar,轉速為39000rpm，阿迪克森ATH1603MT磁懸浮分子泵自帶控制器。

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