Agilent Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設計的專用分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經過優化,可以工作在高氬氣氛圍下和溫度極高的環境中。此外,它還擁有內置的控制器件、一體化的放空和充氮氣保護閥以及免維護的軸承。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業出色的解決方案。
特性:
1、*款為薄膜沉積應用而專門設計的分子泵解決方案
2、現有的高性能、緊湊的儀器
3、首個采用完全集成的方法很大程度提高系統效率和正常運行時間的渦輪分子泵
4、將渦輪分子泵、驅動器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
5、通用電子器件接口并配有操作簡單的控制軟件模擬 I/O 信號以及 RS232/RS485 接口等標準配置
6、安捷倫 Profibus 接口(可選)
7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus)