有閥壓電泵在精細化工、MEMS、生物醫學工程等領域具有重大應用前景。精密諧波減速機SHD-20-50-2SH 為了克服有閥壓電泵結構復雜、跟從與截止性差、成本高等缺點，設計一種異形擬懸臂梁結構的螺旋線形彈性固支閥，其螺旋臂長是簡單懸臂梁閥的數倍，工作時開啟度大，且因其螺旋線形彈性結構，閥體不僅可以上下回位，左右也具有對中功能，精密諧波減速機SHD-20-50-2SH 并把這種閥安裝在有閥壓電泵的泵腔內形成螺旋線形閥壓電泵。

在深入分析有閥壓電泵優缺點的基礎上分析螺旋線形閥壓電泵的工作原理，依照泵內部能量傳遞的路徑建立壓電驅動(電壓、頻率)為輸入與泵流動(流量、壓差)為輸出之間的關系式，加工試驗樣機，并進行性能測試試驗，精密諧波減速機SHD-20-50-2SH  螺旋線形閥壓電泵具有泵功能，證明了其有效性和理論分析的正確性。