廣州潽拓光電維修Edwards EXT75DX英國愛德華分子泵,Edwards EXT75DX/EXT75iDX愛德華渦輪分子泵進氣法蘭口DN63ISO-K/DN63CF/DN40NW/DN100ISO-K,出氣法蘭口DN16,抽速可達到65 L/s,轉速為90000 rpm,對應的控制器為: Edwards TIC100。
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