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            KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 濺射制備堵片傳感器薄膜
            發布者:伯東企業(上海)有限公司  發布時間:2021-01-06 15:46:28  訪問次數:77

            為了使堵片傳感器的靈敏度分辨率、測量范圍小、測量精度等得到提高可實現對堵片打開信號的可靠、穩定測量滿足航天飛行器發動機控制系統信號測試需要某堵片傳感器制造商采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射制備堵片傳感器薄膜.

             

            伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數:

            離子源型號

            RFICP220

            Discharge

            RFICP 射頻

            離子束流

            >800 mA

            離子動能

            100-1200 V

            柵極直徑

            20 cm Φ

            離子束

            聚焦,  平行,  散射

            流量

            10-40 sccm

            通氣

            Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

            典型壓力

            < 0.5m Torr

            長度

            30 cm

            直徑

            41 cm

            中和器

            LFN 2000

            可選燈絲中和器可變長度的增量

            KRI 射頻離子源 RFICP 220

             

            KRI 離子源的獨特功能實現了更好的性能增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.

             

            KRI 離子源是領域公認的領導者已獲得許多專利. KRI 離子源已應用于許多已成為行業標準的過程中.

             

            伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質譜儀,  真空計,  美國 KRI 考夫曼離子源,  美國HVA 真空閥門,  美國 inTEST 高低溫沖擊測試機,  美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

             

            若您需要進一步的了解詳細信息或討論,  請參考以下聯絡方式:

            上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
            T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
            F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
            M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
            ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
            www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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