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            熱銷的日本ygkcop玻璃基板/藍寶石表面檢查儀
            發布者:深圳市秋山貿易有限公司  發布時間:2021-03-01 15:23:36  訪問次數:127

            日本ygkcop玻璃基板/藍寶石表面檢查儀

            YPI-MX-ΘDC 

            YPI-MN

            晶圓

            DF WF-1

            YPI-MX系列(自動轉移)玻璃基板/藍寶石表面檢查裝置



             YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
            玻璃基板表面檢查裝置/藍寶石表面檢查裝置YPI-MX系列(自動轉移)
            于透明玻璃基板的機器,也支持各種背面緞面基板。
            傳感器自動對焦機制可實現高度精確的前后分離。
             
             

            設備規格

            對應板子尺寸200mm x 200mm 
            (如果需要200mm以上,請與我們聯系)掃描方式XY掃描/Θ-X掃描(螺旋掃描)吞吐率
             □200mm(XY)約4分鐘
            Φ200mm(Θ)2分鐘以內
            Φ150mm(Θ)1.5分鐘以內
            Φ100mm(Θ)1分鐘以內工作安裝轉移機械手(背面吸力/邊緣夾具)設備外形尺寸寬1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米體重約1,000kg能量消耗約2.0kW(100V)待檢查的基材硅晶片,透明玻璃基板,藍寶石基板,LT晶片,SiC等檢測靈敏度透明玻璃基板0.2μm
            硅晶圓0.1μm
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