換熱盤管
的換熱盤管由優質的碳鋼管制成，管束經三次氣密性試驗，分別為單根換熱管成形后和整體組裝后、整體熱浸鋅后，保證焊口質量100%合格，整組管束經過超厚的整體熱浸鋅后，增加了抗腐蝕能力，大大延長了使用壽命。
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因為這是掌握AMC控制的基礎，必須先行;按今后IC的生產要求，生產線的設備采用微環境隔離，各設備間園片的傳送采用前開式標準片盒(FOUPs)系統，對園片進行隔離。早已對設備、FOUPs系統及微環境所用的材料要求不釋放及吸附有關懸浮分子污染物的問題以及對此污染物的去除措施進行研發，并不斷改進中;控制AMC的過濾器。近年來尤其是近2～3年來，對控制AMC過濾器的開發及推出有少進展;A.不釋放AMC物質的HEPA/ULPA;低硼超細玻璃纖維過濾器，現已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多;b.多孔聚四氟乙稀(ePTFE)過濾器，為薄膜結構，價格比a要高出十倍左右。
產品的特點和優勢
（1）熱交換性能卓越
FBN產品運用了風水同向二次熱交換的盤管與填料組合的技術，有效避免了盤管壁干點和結垢的形成，實現了換熱。
（2）檢修方便
采用人性化結構設計，超大檢修門，內部空間寬敞，檢修人員在產品內部能輕松地進行各種檢修工作。
（3）實現不停機檢修
FBN產品可在不停機的情況下對浮球閥、過濾網進行檢修。由于產品采用風水同向設計結構，在設備運行時能方便地檢修噴嘴和盤管。
（4）運輸安裝方便
FBN產品采用上、下箱體標準組件運輸，現場安裝的方式，大大方便產品的運輸及安裝。
（5）運行成本低、節能環保
由于本產品獨特的結構形式，具有高熱工性能，冷卻溫度低，節水，節電，低噪音和維修成本低等優點。
（6）故障率低
風機和水泵均采用優質軸承，除此無其他磨損運轉部件。風機采用直聯式結構，無皮帶輪結構帶來的傳動損失。噪音低，故障率少。
（7）占地面積少、投資少
FBN產品集傳統殼管式換熱器或板式換熱器、循環水泵、開式冷卻塔為一體，無需另添置上述設備。具有占地面積少，內循環水質清潔等優點。
（8）方便清洗的傾斜式集水池
集水池底部向排污口端傾斜和PVC填料熱交換層懸掛的結構設計，可方便地清除集水池的污水及雜質。
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便攜式微電腦粉塵儀是在引進日本柴田P-5L2型便攜式數字粉塵儀基礎上加入單片機控制的新一代快速測塵儀器，適用于公共場所可吸入顆粒物PM1濃度的快速測定、工礦企業生產現場勞動衛生方面呼吸性粉塵、總粉塵的測定。近年來有千臺以上P-5型儀器在全國各地使用，是同類測試儀器中暢銷的產品。引進日本全套生產制造及檢測標定技術、設備。符合衛生部標準《公共場所空氣中可吸入顆粒物(PM1)測定方法---光散射法》(99年通過標委會審定);符合勞動行業標準《空氣中粉塵濃度的光散射測定法》LD98-1996;符合鐵路行業標準《鐵路作業現場粉塵測定相對質量濃度與質量濃度轉換方法》TB/T2323-92主要技術指標：檢測靈敏度：.1mg/m3；測定范圍：.1-1mg/m3；測定時間：.15分及手動任意時間；重復性誤差：2%；測量精度：1%；輸出方式：4位液晶顯示，可直讀CPM值及質量濃度值mg/m3，數據可直接輸入PC機，亦可連接專用打印機現場輸出數據；存儲功能：可存儲99組測量數據；數據處理結果：在PC機上可自動計算出算術平均值，標準偏差，大值、小值，允許濃度值。
產品主要零部件
（1）采用不銹鋼鋼板
FBN產品中所使用的箱體材料為柜行業專用的板材，材質為不銹鋼板，板厚為2mm。
（2）裝置電子水除垢儀（選配）
當換熱管組一旦結垢現象，就會導致傳熱熱阻的增大。且長時間受到污垢的腐蝕易造成管道耐壓性能變差，甚至出現系統泄漏的現象；所以我們特意為產品配置了除垢滅藻雙重功能的電子水除垢儀。電子水除垢儀在通過電子發生器產生的高頻電場的作用下使水垢的松軟細化并降低了水垢的再結晶，達到除垢的目的。對已稍有腐蝕的盤管能使盤管表面形成磁性氧化亞鐵（Fe3O4）保護膜，阻擋了盤管的繼續腐蝕，起到了防腐作用。同時，高頻電場能使水中的細菌和藻類等微生物的生態環境發生變化從而使水中的微生物生存條件破壞使其死亡達到殺菌滅藻的作用。能對流經的水源進行處理，起到除垢防垢、殺菌滅藻的功效，從而延長閉式冷卻塔的使用壽命，提高經濟效益。
您只需要接通220V電源即可對循環水水質進行處理，有效的避免了盤管壁、填料上污垢的形成。
（3）循環泵
水泵選用南方泵業股份有限公司的產品，與同類產品相比，具有低能耗，率等優點是節能環保產品；電機采用低噪音全封閉防濺防塵室外型電機；泵體采用精密鑄造，堅固使用壽命長；泵的葉輪采用不銹鋼，維護時不必擔心螺栓的損壞，而且裝安裝方便，使用壽命長等優點。
循環泵采用不受轉向限制的優質機械密封，無泄漏，壽命長，具有小功率、大流量、低噪音、性能優等特點。
配用電機為全封閉風冷式電機(TEFC)，防護等級為IP55，絕緣等級為F級，電源參數為380V±10% / 50Hz±5% / 3相；所有水泵均依據節能的原則配置，設計點均位于水泵的運行區。工作效率高，電機功率通常小于其他水泵廠商。
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ZDF系列多功能電磁閥則可通通于氣.液體。好訂時告明介質狀態，安裝用戶就不必再調式。質溫度不同規格產品，否則線圈會燒掉，密封件老化，嚴重影響壽命命。質粘度，通常在5cSt以下。若超過此值，通徑大于15mm用ZDF系列多功能電磁閥作特殊訂貨。通徑小于15mm訂高粘度電磁閥。質清潔度不高時都應在電磁閥前配裝反沖過濾閥，壓力低時尚可選用直動膜片式電磁閥作CDP。質若是定向流通，且不允許倒流ZDFN和ZQDFN單需用雙向流通，請作特殊要求提出。6介質溫度應選在電磁閥允許范圍之內。管道參數2.1根據介質流向要求及管道連接方式選擇閥門通口及型號。，用于一條管道向兩條管道切換的，小通徑的選CA5和Z3F，中等或大通徑請選ZDFZ1/2。又如控制兩條管道匯流的，請選ZDFZ2/1等。2根據流量和閥門Kv值選定公稱通徑，也可選同管道內徑。請注意有的廠家未標有Kv值，往往閥孔尺寸小于接口管徑，切不可貪圖價低而誤事。作壓差低工作壓差在.4Mpa以上是可選用間接先導式；低工作壓差接近或小于零的必須選用直動式或分步直接式。環境條件3.1環境的高和低溫度應選在允許范圍之內，如有超差需作特殊訂貨提出。2環境中相對濕度高及有水滴雨淋等場合，應選防水電磁閥。3環境中經常有振動，顛簸和沖擊等場合應選特殊品種，船用電磁閥。有腐蝕性或性環境中的使用應優先根據安全性要求選用耐發蝕。境空間若受限制，請選用多功能電磁閥，因其省去了旁路及三只手動閥且便于在線維修。電源條件4.1根據供電電源種類，分別選用交流和直流電磁閥。